技术编号：8015616
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及堆垛起重机，在半导体制造、液晶显示板等的制造工厂中，这种堆垛起重机设置于因工序时间调整等而对制造过程中的中间产品进行临时保管、收纳的堆垛机中。其中，尤其涉及设置于高层堆垛机中的高层堆垛起重机。背景技术 在典型的半导体工厂无尘车间的布局中，会铺设多个工序内环状轨道、以及连接这些多个工序内环状轨道的工序间轨道，与该工序内环状轨道和工序间轨道邻接配置着对晶片等基板进行一系列处理加工(形成薄膜、光刻法、清洗、蚀刻、检查等)的半导体处理装置、对加工过程中的基板等进行临时保管的堆垛机。通常情况下，将晶片等基板...
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