技术编号：8016270
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及到装载半导体晶片的舟，尤其涉及到一种用来减少垂直扩散炉内片子中产生的晶体缺陷并提高工艺均匀性的舟。考虑到大直径片子的未来趋向，垂直(而不是水平)扩散炉被用作半导体器件制造中的必要设备以适应这种更大的片子。在典型的垂直扩散炉中， 自动传送装置将半导体片子从传送台传送到舟。载有片子的舟被置于垂直安置的扩散工艺的加热室中。附图说明图1示出了一种在垂直扩散炉中用来支持片子的常规舟，图2更详细地示出了载于图1舟上的片子。参照图1，此舟有一对侧面杆11和一对后部杆13，各带有分隔开的用来水平支持片子的水平凸...
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