技术编号：8016296
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本专利申请是92年7月6日提交的，名为“触发点燃CVD--等离子体的方法及装置”的92105462.9专利申请的分案申请。本发明涉及在用于对底基进行涂层的反应室中触发点燃CVD-等离子体的一种方法，其中反应气体被通到反应室中，在该室中等离子体在触发点火后用微波脉冲激励并维持一给定的时间间隔。本发明还涉及用于实施该方法的一种装置。为了对底基涂层，尤其是使玻璃底基涂层，需将这些底基在一涂层室中相对等离子体放置。视所期望的涂层而采用相应的反应气体，它们在其易燃性方面的确是不同的。易燃性被理解为气体的低的触发点火电压和/或...
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