技术编号：8016959
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及制膜设备，特别是用于制膜设备中的掺杂与活化气体的一种装置。薄膜科学与技术是新材料发展前沿最活跃的领域之一。为了探索新材料和制备高性能的薄膜材料，人们采用了各种手段和措施，如采用活性气体提高薄膜质量，采用掺杂获得新材料和改善薄膜性能，这些都是目前制备薄膜普遍使用的方法。为了得到活性气体，有的采取微波激励，如文献(1)C.Niuetal.，Science Vol.261，334(1993).有的采用臭氧发生器，如文献(2)T.Terashima et al.，Phys.Rev.Lett.Vol.6...
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