技术编号：8023103
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种印刷电路板等的曝光装置以及使用于曝光装置的掩模框架搬运装置，特别涉及一种掩模框架的操作性优良的曝光装置以及使用于曝光装置的掩模框架搬运装置。背景技术 近年来，印刷电路板等的基板被高精度化和高密度化，而且，为了提高生产性，使用连续进行搬入、整合、曝光、搬出的所谓自动曝光装置而形成电路图形。以该自动曝光装置为代表的曝光装置，预先在基板上涂敷抗蚀剂等特殊的感光性树脂，并通过搬运机(handler)等搬入装置，将基板承载于承载台的规定位置上，进行与形成了规定图形的掩模的相面对位置的整合作业，通过该掩模...
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