用于电吸收调制半导体激光器高频封装的热沉的制作方法技术资料下载

技术编号:8023603

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技术领域本发明属于光电子器件领域,是一种用于光电子器件封装的热沉,更具体说是一种用于电吸收调制半导体激光器高频封装的热沉。背景技术电吸收调制器(EAM)与分布反馈激光器(DFB LD)的单片集成(EML)光源,因具备低啁啾、小工作电压、尺寸小、结构紧凑、可靠性高、器件间光耦合效率高、输出光功率大、成本低等优点,是WDM光通信系统,尤其是长距离高速率光纤网络的理想光源。当光电器件芯片制作完毕后,封装是器件性能是否充分实现和发挥,器件能否实用化的关键,电信号引入和分配,光能量的耦合,模块保护,恒温散热等在一定程度上都依...
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