技术编号：8023763
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明为一种三自由度侍服控制平台，应用于集成电路制造设备和精密测量行业，亦可应用于生物工程设备。背景技术 为满足集成电路制造微纳米级精度的要求，晶元加工和封装工艺的生产和测试都已达到纳米级水平。现在市场上的精密侍服运动平台大都采用刚性线性轴承结构或者静压空气轴承。对于20纳米分辨率和150纳米重复性精度的运动平台，国内没有查到成型产品，国际市场上有采用静压空气轴承的产品。采用空气轴承结构的平台，价格昂贵，体积和重量都很大，不适合应用在小空间的场合。尤其是部分晶元光刻设备和光电子设备上所需要的X-Y-θ三自由...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。