技术编号：8023765
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及气体电离器发射电极，更具体说，涉及由诸如碳化硅之类的碳化物材料形成或涂敷的气体电离器发射电极。背景技术 笼统地说离子发生器涉及可中和工作间内的静电荷，以使静电放电的可能性降至最低的器件领域。在诸如大规模集成电路、磁阻记录头等工艺生产中，消除静电是一项重要的工作。在静电消除器中，用电晕产生电极产生颗粒物质对建立无颗粒和杂质的环境来说也同样重要。对于这种工艺，金属杂质可造成致命的损害，所以需要将这种污染物抑制到最低可能水平。在本领域中已知，当金属离子发射电极遇到房间空气的电晕放电时，它们将在几小时内显...
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