氮化硅粉、其烧结体、基板、及由此的电路板和热电元件模块的制作方法技术资料下载

技术编号:8028351

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技术领域本发明涉及作为半导体用基板和发热元件用散热器等电子产品用部件、普通机械用部件、熔金属用部件或热力装置用部件等结构用部件合适的高强度、高导热性氮化硅烧结体及其制造方法、该制造方法中所用的氮化硅粉末及其制造方法、以及使用这种氮化硅烧结体构成的电路基板和热电元件模块。现有技术氮化硅烧结体除了高温强度特性和耐摩性等机械特性之外,因其耐热性、低热膨胀性、耐热冲击性以及对金属的耐腐蚀性优越,所以一直用于燃气轮机用部件、发动机用部件、炼钢用机械部件、或浸渍到金属溶液的浸渍部件等各种结构用部件。另外,利用高绝缘性,还作为电...
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