技术编号：8028629
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及制造磁性石榴石单晶膜的方法。磁性石榴石单晶膜通常被广泛用于诸如延时线滤波器、振荡器、非线性器件或相似的一类静磁波器件，以及诸如采用拉弟效应的光隔离器、环行器或相似的一类磁光器件。作为制造这样一种磁性石榴石单晶膜的方法，著名的为液相外延长生工艺(LPE工艺)。制造磁性石榴石单晶膜用的液相外延生长工艺包括，例如，以石榴石组成元素的氧化物和作为助熔剂的PbO和B2O3装填保持在加热炉中的铂坩埚，并在大约1200℃下均匀化以形成熔体。接着使熔体保持在过冷状态，也即低于或接近液相线的温度(大约900℃)，然...
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