技术编号：8029344
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术 半导体处理系统的特征在于极其洁净的环境和极其精密的半导体晶片移动。工业上广泛依赖于高精密度的机器人系统来以必需的精密度，在半导体处理系统内相对于各种处理台移动诸如半导体晶片之类的基片。这种机器人系统的可靠且有效的操作取决于元件的精密定位、对准和/或平行。准确的晶片定位使晶片偶然擦过晶片处理系统的壁面的机会最小化。可以要求在处理室的处理底座上的准确的晶片定位，以便优化该工艺的产量。半导体处理系统内的表面之间的精确平行对于确保在从机器人末端效应器传送到晶片承载架、预对准真空吸盘、装卸用闸室(load lock...
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