技术编号：8029381
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种真空沉积方法以及一种升华材料真空沉积用密封型蒸发源设备，它采用具有蒸发材料喷射开口(blast aperture)的密封加热容器。更具体地，本发明涉及一种真空沉积方法，其采用通过利用沉积室与加热容器之间的巨大压力差使蒸发材料发射和蒸发的系统。此外，本发明涉及一种真空沉积用密封型蒸发源设备。作为解释，蒸发材料、加热容器和相关的部件统称为“密封蒸发源”。背景技术 通常，并未利用蒸发室与加热室之间压力差的敞开型蒸发源已经广泛用作真空沉积的蒸发源。同时，很难找到将蒸发源称为密封型蒸发源的情况处于实际应...
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