技术编号:8029517
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种离子平衡传感器,在半导体器件等的制造过程中,为了防止设备带电而利用电离器向该设备喷射正负离子而消除静电时,使正负离子的量平衡。背景技术 作为这种电离器(静电消除装置)所使用的离子平衡传感器的现有技术已知,例如后述的特开2003-217892号公报(段落 ~ 、图1~图3等)所记载的。现有技术中,在离子平衡测量器内设置2个静电电位传感器,同时使测量静电消除对象物的静电电位的静电电位传感器朝向静电电位测量对象物,使测量本身(离子平衡测量器)的周围的静电电位的静电电位传感器不朝向静电电位测量对象...
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