技术编号：8030124
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及具有放电灯并且可以在长时间内射出均匀照度的光 的光源装置以及使用这样的光源装置的膝光装置。背景技术在半导体制造工艺或印刷基板制作工艺中的光致抗蚀剂(photoresist)的膝光工艺等利用光来进行物的加工的工业工艺中， 使用放电灯的光源装置被广泛使用。在这样的工业工艺中使用的光源 装置特别要求"可以在长时间内射出均匀照度的光"，但光源装置中使 用的放电灯随着使用时间变长而劣化从而照度降低，因此不容易满足 这样的要求。因此，以前进行了为了满足该要求的研究，作为其成果，专利文 献l的光源装置是已知的。...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。