技术编号：8030914
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于精密定位平台领域，尤其涉及一种能够在低精度驱动器的驱动下获得高精度的位移输出的整体式柔顺板精密定位平台。背景技术 近年来，精密定位技术得到迅速发展和广泛应用。分辨率和定位精度是精密定位领域十分重要的性能参数。目前，高刚性、快响应的精密定位平台已成为国内外研究的热点。高精度的精密定位系统通常需要高性能驱动器及其控制系统。高性能的驱动器主要有压电陶瓷式、音圈电机式、磁致伸缩式、直线陶瓷电机等类型。这些驱动器精度高，响应快，稳定性好，适用于要求高加速度、快速、高频响应以及高精度定位系统。然而这些精密定位...
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