技术编号：8031275
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明关于一种药液处理装置。即，关于一种用于基板的制 造工序中、并且利用药液对基板材料进行表面处理的药液处理装置。背景技术一直以来，用于电子机器的电路基板的小型轻量化、超薄化、 挠性化的进展很显著，形成的电路的微细化、高密度化也很显著。并且，在这种基板的制造工序中被采用药液处理装置，利用 喷射的药液对基板材料进行表面处理。例如，喷射显影液、蚀刻 液、剥离液等'药液，由此进行显影、蚀刻、剥离等表面处理。在这种现有例的药液处理装置中，基板材料通过输送机的搬 送滚筒搬送，同时从喷嘴喷射药液，由此依次进行显影、蚀刻...
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