技术编号:8033118
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种具有保持件和连接到保持件上并设置导管的喷嘴的部件放置装置。本发明还涉及一种喷嘴更换装置。本发明还涉及一种喷嘴更换的方法。背景技术 在从美国专利US-A5831504得知的一种用于部件放置的类似组件中,沿着轴线延伸的喷嘴滑动地布置在保持件中。在延伸通过喷嘴的导管中,形成真空,通过真空,部件通过喷嘴拾取,并且放置在衬底上。如果平行于轴线的相对大的力施加在喷嘴上,喷嘴滑动到保持件内,使得施加在部件上的最大的力受到限制。如果不希望的力在横过该轴线的径向上施加在喷嘴上,喷嘴将变形或者损坏。这种公知组件的...
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