技术编号:8033166
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种产生用于去除电子元件等各种部件上的静电的离子化空气的离子发生装置。背景技术 在进行半导体芯片等的电子元件的制造和组装时,一旦电子元件与其制造及组装工具等之间产生静电,则无法顺利完成电子元件的制造或组装作业。于是,应用离子发生装置或称离子发生器(ionizer或ion generator)对需要除静电电荷的部件喷射离子化后的空气,即离子化空气。需要除静电电荷也就是除去静电的部件,除上述电子元件以外,还包括空气或液体的导流管线、机器人或零部件输送器等机械中的操作部分等。向这些部件表面供应离子化空气...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。