喷出装置、材料涂覆方法、滤色片基板的制造方法技术资料下载

技术编号:8033801

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技术领域本发明涉及将具有流动性的材料涂覆在工件(基体)上的喷出装置及材料涂覆方法,特别涉及适于滤色片基板等的制造的喷出装置及材料涂覆方法。背景技术 已知有用于滤色片、电致发光显示装置等的制造中的喷墨装置(例如参照专利文献1)。特开2002-221616号公报具有流动性的材料或液状的材料包括对应涂覆的材料赋予流动性的溶剂。由此,为了将所需的厚度的材料(溶液中的溶质或分散在溶剂中的物质)设于被喷出部上而必要的液状的材料的体积有时就会超过被喷出部所能够收容的体积。在此种情况下,为了使液状的材料不从被喷出部中溢出,喷墨装置...
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