技术编号:8033949
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。相关案例的交叉引用本申请涉及到下列当前已申请的美国专利申请No.09/4 39661,名称为“IMPROVED PLASMA PROCESSING SYSTEMS ANDMETHODS THEREFOR”,(律师案卷号No.LAM1P122/P0527);No.09/470236,名称为“PLASMA PROCESSING SYSTEM WITH DYNAMICGAS DISTRIBUTION CONTROL”,(律师案卷好No.LAM1P123/P0557);No.09/439675,名称为“TEMPERATUR...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。