精密一维旋转及二维倾斜工作台的制作方法技术资料下载

技术编号:8034588

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技术领域本发明涉及一种精密角度调整工作台,特别是空间粗调整、精调整的一维 旋转及二维倾斜定位工作台结构。背景技术精密角度调整工作台在精密机械加工、光学元件调整、微机电系统、生物 医学等领域有着广泛的应用。如何在紧凑的可调整空间内实现不同范围和精度 要求的三维角度定位是旋转工作台研制的难点和关键问题。目前,精密调整技 术发展迅速,纳米定位技术已经广泛应用于精密调整机构中,如光学移相干涉、 自适应调整技术、电致伸縮微位移移动机构等。纳米定位技术结合传统的丝杆 传动或螺纹传动等机械装置可以满足不同调整精度和调整范围的空间...
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