表面状态检查方法、表面状态检查装置和基板检查装置的制作方法技术资料下载

技术编号:8034748

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技术领域本发明涉及以表面的镜面性高、且在其表面上包含倾斜面的物体作为检查对象,利用对该检查对象物摄像而获得的图像,检查表面状态的良否的方法以及装置。此外,本发明涉及以设定了多个焊接部位的基板作为检查对象,检查该基板上的各焊接部位的焊料的表面状态的装置。背景技术 申请人以前开发了一种装置,利用焊接部位的镜面反射性,通过图像处理的方法来自动检查基板上的焊接部位(参照专利文献1)。特公平6-1173号公报图16表示上述专利文献1中公开的基板检查装置的结构和检查的原理。该检查装置是通过具有红、绿、蓝的各色彩光的3个光源8、...
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