技术编号:8035478
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于精密机械中的压电微电机技术领域,特别涉及基于弯曲振动模式的一种采用复合激励方式的多自由度压电陶瓷棒状微马达。背景技术 在1998年IEEE的“ULTRASONICS SYMPOSIUM”中报道中国南京航空航天大学发明了一种线性马达。是陶瓷圆片夹在后配块和前配块之间,通过两个配块实现长度振动;另有方形陶瓷片贴在前配块下部的扁平片的两面,通过前配块实现弯曲振动。前配块下端面与驱动滑块粘连成一体,在预压力作用下,马达下端面的驱动滑块作线性双向移动。但是马达的结构比较复杂,尺寸很大及只能实现一维线性运动。...
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