技术编号:8036138
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及单晶炉领域,尤其涉及一种单晶炉籽晶机构。 背景技术单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和 半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重 要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用 太阳能的主要功能材料。单晶炉在拉晶过程中籽晶部件与坩埚部件的同心度越高,得到的籽晶质量越好, 所以在单晶炉的安装过程中需要通过籽晶机构来确定籽晶部件与坩埚部件的同心度,籽晶 机构可以使晶体能更稳定的生长,在硅单晶拉制...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。