技术编号:8039360
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型属于太阳能设备制造技术领域,具体涉及一种多晶铸锭炉用复合板组件,用于改善ALD多晶铸锭炉多晶硅碇的生长。背景技术近年来,太阳能作为主要的可再生能源迅速地发展起来,硅片的需求也日益增大。 同单晶硅相比,多晶硅具有更低的成本等优势,因而其市场份额迅速增加。对多晶硅锭现有的生产工艺和设备进行改进具有巨大的经济效益和社会效益。利用定向凝固法生长多晶硅碇有许多优点,比如可以通过利用杂质的不同分凝系数实现杂质的定向排除。在多晶硅锭的定向凝固中,固相-液相界面对硅锭的晶粒大小等品质有较大的影响。如图3所示,若固...
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