技术编号:8039624
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种加热管,特别涉及一种石英加热管。 背景技术现有的半导体及太阳能等微电子行业需要对硅片清洗,为了使硅片清洗更彻底, 需要使用高温度的酸等液体。若使用普通的金属电热丝或加热管需要长时间高温工作,金 属材质会与酸起反应,当使用含有金属离子的酸清洗硅片时,金属离子会被吸附到硅片表 面并难以清洗,影响待生产的硅片等微电子产品精度。CN201533417U (2010-7-21)公开了一种碳纤维石英加热管,包括石英管本体,石英 管本体的两端经压扁后分别形成压头,压头将石英管本体的两端密封,密封的石英管...
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