技术编号:8040319
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种直拉单晶炉,尤其是一种能够降低加热器功耗同时提高拉晶 速度的直拉单晶炉。背景技术目前,利用直拉单晶炉生产单晶硅的技术已经较为成熟,并早已实现了大规模的 工业化生产。当下单晶硅制造行业的核心问题是如何降低其制造成本,现在通常采用两种 方法一是降低加热器的功耗;二是提高拉晶速度。但是,简单的降低功耗或者提高拉速, 会带来晶体质量的下降。因此,如何在降低功耗、提高拉速的同时保证产品质量,成为一个 至关重要的技术难题。实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种改进的直拉单晶炉,能够在降低加热...
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