技术编号：8040622
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及太阳能电池生产技术，尤其涉及一种太阳能电池生产中三氯氧磷 的自动补液装置。背景技术在制作太阳能电池PN结时，通常用保护性气体(氮气)通过恒温的三氯氧磷液态 源瓶鼓泡或吹过表面，把杂质源蒸汽带入高温扩散炉中，经高温热同硅片表面反应生成磷 原子，并向硅片内扩散掺杂而形成PN结。三氯氧磷(PoC13)属于液态磷源，在常温下就有 较高的饱和蒸汽压，因此源瓶内的三氯氧磷液面会不断下降。当液面下降到较低位置时，炉 口和炉尾的硅片扩散的均勻性会有较大的差异，这种不均勻性对能量转换效率有直接的影 响，需要严格...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。