技术编号：8041737
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种直拉单晶炉用的坩埚，特别是一种用于承托石英坩埚的组合坩埚。背景技术目前，在半导体和太阳能行业单晶硅的生产过程中，较多采用的是直拉法生产工艺，其所采用的设备是直拉单晶炉。利用单晶炉拉制单晶硅棒时，需要把硅料加热至1420°C 以上使其熔化，然后拉晶成型。拉制时，硅料是盛装在高纯石英坩埚内加热熔化，由于石英在1100°C以上变软，所以在石英坩埚的外面一般采用石墨坩埚来承托，同时也因为硅料和石墨接触会发生反应，所以不能直接使用石墨坩埚承载硅料。为了防止硅料的热膨胀使其开裂，石墨坩埚多加工成两瓣或...
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