技术编号:8042972
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种用于快速热处理设备的加热组件(heater block),尤其涉及一种加热组件,该加热组件包括以棋盘格形镶嵌排布(tessellated arrangement)的方式密集地排列的加热灯管(heating lamp)。背景技术快速热处理设备在热处理(heat processing)中利用加热灯管所发出的红外线光迅速地加热基板。目前,进行了各种尝试(例如水平旋转基板)以便能均勻地加热基板。然而,加热灯管的排列方式引起的问题使得很难达到均勻地加热基板,从而在基板上造成微小的温度梯度(minute ...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。