技术编号:8043598
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及包含蚀刻工序的。对于认可基于文献参照的引用的指定国,通过参照将2010年3月23日向日本国提出的特愿2010 -065908号中所记载的内容引用于本说明书中来构成本说明书记载的一部分。背景技术在基于卷对卷(R-R)方式的连续制造工序中,在形成布线图案的蚀刻工序后连续地进行端子锻敷处理工序、精加工工序以及切割工序等。然后,在这些所有的工序结束后,检查完成后的印刷布线板的布线宽度。关于这种布线宽度的检查方法,公知有向布线图案照射激光与电磁波,利用反射光与荧光X射线来计测布线图案的基部(铜箔与基材的边界...
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