技术编号：8044688
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及蓝宝石单晶体的制造装置，更具体而言，涉及利用单向凝固法制造蓝宝石单晶体的制造装置。背景技术蓝宝石有各种各样的用途，其中最重要的用途是作为LED制造用的蓝宝石衬底。 即，通过使缓冲层和氮化镓系覆膜在蓝宝石衬底上外延而获得LED发光基板越来越成为主流。因此，寻求一种能够高效率且稳定地生产蓝宝石的蓝宝石单晶体制造装置。LED制造用的蓝宝石衬底大多是c面取向(0001)衬底。以往，工业上采用的蓝宝石单晶体的制造方法有导模法(ETO，edge-defined film-fed growth)、泡生法(KP，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。