技术编号:8044917
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及LED衬底级蓝宝石晶体生长炉制造技术领域,特别是一种带热场可调的泡生法晶体生长炉结构。背景技术发光二极管(Light Emitting Diode, LED)具有寿命长、耗能少、体积小、响应快、抗震抗低温、污染小等突出的优点,其应用领域极为广阔,市场潜力巨大,被称为“人类照明史上的又一次革命”。LED衬底材料对其性能与成本有重要关系,因蓝宝石晶体具有独特的晶格结构、优异的力学性能、热学性能、光学性能、机械性能和化学稳定性,成为实际应用的GaN半导体发光二极管等最为理想的衬底材料,占衬底市场90%以...
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