技术编号：8045377
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及电子器件加工设备领域，尤其是加热器设备。 背景技术对基片进行真空镀膜的设备中加热器是一个重要的设备，通常用石英管加热，为了提高加热效率，快速加热，采用“8”型红外辐射加热管，其接线端子用陶瓷制作，固接线端子与玻璃管发热一起处于其空加热室内，玻璃与陶瓷的膨胀系数不同，当温度> 200°C，玻璃与陶瓷连接处就会开裂，这远低于需要的工作温度。另外因为“8”型加热管结构比较复杂，在大气中不易实现真空密封。因此在上述现有技术的基础上进行了改进。发明内容本发明的目的为提供一种避免在200°C以上温度陶瓷...
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