技术编号:8046597
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于光学技术领域,涉及一种利用共振表面等离子体激元对光场提高产生相干极紫外辐射的方法及装置。背景技术极紫外辐射在极紫外显微术、极紫外光刻、光谱研究、材料分析等方面有着重要应用。利用同步辐射、激光(放电)等离子体和高次谐波方法均可获得极紫外辐射。但是同步辐射方法其设备庞大、造价昂贵,而激光(放电)等离子体方法其光源工作时伴随着大量的靶材碎屑产生,污染光学系统。而高次谐波是一种优良的极紫外光源,它具有体积小、洁净、超短光谱探测、高空间及时间相干性的优点。高次谐波能够产生的阈值光场强度大约为1013W/cm...
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