技术编号：8047751
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种坩埚驱动装置，尤其是指适用于直拉式单晶炉的坩埚驱动装置。 背景技术直拉式单晶炉是生产太阳能电池用单晶硅和集成电路及单晶硅的的主要设备。随着太阳能电池硅材料的尺寸越来越大。以及集成电路对单晶材料的品质要求越来越高。对与之相对应的单晶生长设备的自动化程度和长期使用的稳定性提出了更高的要求。在用直拉法生长单晶的过程中，要将多晶料置于石英坩埚中，经过高温回执使其熔化为多晶硅熔液，籽晶由顶部降下到多晶熔液中，控制液面的温度使多晶熔液在籽晶周围重新结晶，生成排列整齐的单晶硅棒。在这一过程中，需要放置多晶料...
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