技术编号:8048502
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及单晶硅生产设备技术领域,特别涉及一种多晶炉红外测温装置及采用多晶炉红外测温装置的多晶炉。背景技术多晶炉是多晶硅料转化为多晶硅锭工艺过程中的必备设备,而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。现有的多晶炉都会用到多晶炉红外测温装置,其中多晶炉红外测温装置作用如下在多晶硅铸锭过程中,经过溶化、长晶、退火工序时,都需根据工艺控制腔体...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。