技术编号:8049576
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种泡生法蓝宝石晶体生长的温度控制系统。 背景技术现有的泡生法蓝宝石晶体普遍的采用电压控制、电流控制、功率控制等方式来控制蓝宝石晶体生长。采用这些方式控制的对象,如电压、电流,都受到很多外部的干扰,控制模型偏离理论的、有效的晶体生长状况较大。功率控制模型在理论上较为接近晶体生长状况,但仍然受到各方面的因素制约较多。譬如受传感器的精度限制;电网电压的过冲、波动干扰,电压补偿的不匹配、环境温度变化等,会造成晶体生长部分阶段的不可控性。温度控制长晶,其目标是直指晶体生长所需温度参数。模型更能接近理论的、...
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