技术编号：8049933
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及的是并联机构与柔性运动副相结合的并联工作台，可实现空间三维平动超精密定位。背景技术随着现代机械向微型化、高精度化方向发展，传统的采用步进电机加精密丝杠的定位方式已不能满足超高精度的要求。目前，许多工程和实验领域要求的精度已经达到微米、亚微米、甚至纳米级，如微电子机械系统MEMS中的微测量、微定位、生物工程细胞操作、 微装配以及显微外科手术、光纤对接、误差精确补偿、微动激振等领域。而传统机械由于运动副间隙、构件的制造和装配误差、摩擦等缺陷使得构件的实际精度难以满足高精度的要求。发明内容为了克服上述传...
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