技术编号:8051634
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种单晶硅晶体生长炉用石墨/炭毡复合电极,属于晶体生长设备的技术领域。背景技术近年来,能源危机愈演愈烈,日益增长的能源需求又带来了一系列的环境问题,太阳能电池技术及产业作为解决能源及相关问题的一条重要途径得到了迅速的发展。目前太阳能电池的发展主要是建立在单晶硅多晶硅的基础上,但单晶硅多晶硅的生产能耗相当高。以8寸单晶硅为例,在等径生长过程中功率高达55kW,而其生长速率只有lmm/min左右,并且单根晶棒的生长过程长达50多个小时,因而其能耗是惊人的,节能降耗也就成为太阳能用单(多)晶硅生产中的一...
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