技术编号：8053418
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型装置属于半导体制造技术领域，涉及一种单晶炉勾形电磁场 装置。技术背景直拉硅单晶向大直径方向发展，投料量急剧增加，大熔体的热对流将会 严重影响晶体的质量。晶体生长过程中加入磁场可以有效抑制熔体对流，提 高晶体质量。目前，使用的磁场主要是分布为水平方向的横向磁场和垂直方 向的纵向磁场来抑制热对流。但是，这两种磁场都是,一方向，它们仅对与 自己磁力线垂直方向或成一定角度的部分热对流起抑制，而与磁力线平行方 向的热对流不起任何抑制，即热对流在熔融体内不能完全被抑制。因此，采 用这两种磁场拉制的单晶棒仍存在...
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