技术编号：8053718
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种空间全柔顺并联机构。 背景技术近年来，随着微电子技术、通讯技术、宇航技术、精密和超精密加工、生物工程、医学工程等技术的迅猛发展，人们越来越迫切的需要具有纳米级定位精度、多自由度、高度灵活的超精密微定位系统，用于实现高精度的操作和实验研究。为了实现精密定位，通常采用伺服电机和精密丝杠传动方案，然而这种定位方式由于螺纹间隙和传动摩擦的存在，其定位精度一般只能达到微米级。为了补偿传动误差，提高分辨率，往往采用电磁或压电驱动对工作平台进行精细位置调整，但调整过程长、系统复杂，且由于空间耦合作用使得空间...
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