技术编号:8054216
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及硅单晶生产设备,具体为一种具有实时检测硅单晶生长直径功能的单晶炉。背景技术直拉法生产硅单晶已经是该领域通用的一种技术手段,在此生产过程中,需要用到单晶炉,通常情况下,单晶炉包括有外壳、安装在外壳中心的石墨坩埚、位于石墨坩埚内的石英坩埚、位于石墨坩埚外围的加热电极和位于石英坩埚内侧的导流筒,生产过程中,石英坩埚内的原料经过加热和局部冷却并拉伸生长形成圆柱状的硅单晶。传统结构的单晶炉基本可以实现硅单晶的生产,但是不能够实时检测内部硅单晶的生长直径,需要进一步改进。实用新型内容本实用新型所解决的技术...
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