技术编号:8055940
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种单晶直拉用加热器的取卸装置。 背景技术在单晶直拉工艺中,当晶棒拉制完毕后,需打开单晶炉,取出加热器,而加热器的温度高达300°C 400°C。通常情况下,一般都要停炉4个小时左右,在单晶炉冷却得差不多时,再由2位操作工戴着而耐高温手套取出加热器。这种方法,存在如下缺陷,一是需要在单晶炉内冷却后才能取出,冷却时间较长,降低了生产效率;二是操作工直接用戴着耐高温手套的双手俯身钻进炉膛去抬加热器出炉,容易造成灼伤烫伤等安全事故。发明内容本实用新型的目的是提供能在晶棒拉制完毕后,直接打开单晶炉,取...
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