技术编号:8056900
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及单晶硅或多晶硅的硅棒拉制炉部件,尤其涉及硅棒拉制炉中的子 晶夹头部件。技术背景在硅棒拉晶炉中,硅料经高温熔融后必须通过子晶将硅棒旋转引出,目前,拉棒所 用的子晶是由单晶硅加工而成的圆柱形,在硅棒的拉制过程中,要求子晶与拉晶炉中的旋 转提升杆要同步旋转和同步升降。子晶的装夹结构不仅影响到硅棒是否拉制成棒,而且直 接影响到硅棒的成型质量,现有的子晶的装夹结构都由拉晶炉中的旋转提升杆、子晶和子 晶螺纹套组成,子晶套装在子晶螺纹套上,并用定位销使两者在周向和轴向固定连接,再通 过子晶螺纹套旋接在拉晶炉...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。