技术编号:8057019
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型属于多晶硅生产设备领域,尤其是一种用于生产多晶硅的铸锭炉炉体。背景技术目前多晶硅铸锭炉,主要用于以铸锭方式生产硅半导体材料,传统的多晶硅铸锭炉由炉体和炉盖所组成,通常炉盖位于炉体上端,电加热器分布在炉膛的坩埚周边,存在装卸料不方便,电控加热和控制系统的带电元件下置,安全操作性能筹,炉体内隔热体设置分布不合理,隔热体设置过于复杂,使熔炼铸锭多晶硅速度慢,设备使用寿命短等缺点。发明内容本实用新型的目的是针对上述技术中铸锭炉炉体存在的隔热体设置过于复杂的缺点,提出一种隔热体简单、熔炼铸锭多晶硅速度快的铸...
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