技术编号:8057564
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种减小单晶硅拉制过程中晃动的装置。 背景技术单晶硅作为一种半导体材料,一直以来主要应用于集成电路以及电子元件的生产,近年来随着光伏产业的发展,作为太阳能电池的主要原材料,需求量已经远远超过了集成电路以及电子元件生产所需。单晶硅的生长主要有两种方法直拉法(CZ)和浮融法 (FZ)。其中CZ法占了约85%。直拉法(CZ)单晶硅生长过程中,由于各种原因经常引起单晶硅棒晃动的现象,影响单晶硅的正常生长,同时可能因为晃动导致籽晶断裂。发明内容本实用新型的目的是提供了一种有效减小单晶硅拉制过程中晶体晃动的装...
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