用于制造纳米粉末的感应耦合等离子反应器的制作方法技术资料下载

技术编号:8057637

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技术领域本发明一般地涉及一种利用高频线圈在大气压下制造纳米粉的等离子反应器。更具体地,本发明涉及一种制造纳米粉的高频感应等离子反应器,其设计是使用固相粉末作为起始原料,大量地连续生产纳米粉,并且通过彻底地蒸发原料粉末制造高纯度纳米粉。背景技术 一般地,制造纳米粉的反应器是指通过将作为原料的气相或液相物质蒸发制造纳米粉的设备。使用此反应器制造的纳米粉被输送到单独的收集装置中,并收集在收集装置中。传统的反应器制造纳米粉是利用直流型、高频型、直流/高频型等类型的等离子火炬,将反应物电离和分解。具体地,反应器得到纳米粉是通...
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