技术编号：8057716
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域具有钡涂层的石英坩埚技术领域本实用新型涉及一种石英坩埚，尤其是涉及一种具有钡涂层的石英坩埚。背景技术公知的，石英坩埚作为拉制大直径单晶硅是一种必不可少的设备之一，目前的石英坩埚在1450度以下使用，大致分为透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上...
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