技术编号：8058430
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及单晶硅提炼设备，尤其涉及太阳能级单晶炉控制装置。 背景技术单晶炉控制装置专用于太阳能用单晶硅提炼设备，主要是把多晶硅通过化料、引晶、放肩、等径、收尾提炼出。单晶直径在生长过程中可受到坩埚加热温度、籽晶提拉速度与转速、坩埚跟踪速度与转速、保护气体氩气的流速与温度等因素的影响。在忽略一些干扰因素影响情况下，单晶等径生长主要受温度和拉速影响。因此，炉内热场和生长速度的精确控制是单晶等径控制的重点，由于这种控制系统是一个缓慢时变，并且具干扰严重的非最小相位系统，用一般常规仪表控制手段来实现自动控径极为...
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